一、預處理階段

在有機廢氣進入處理系統之前，可能需要進行預處理，以去除固體顆粒物、液體水分、油脂等雜質。預處理的方法包括過濾、冷凝、除濕等，目的是保護后續處理設備的正常運行，并提高處理效果。

二、吸附階段

吸附是有機廢氣處理的常見方法之一。在吸附階段，廢氣通過活性炭吸附劑床，有機污染物被吸附在活性炭表面上。活性炭具有高度的吸附能力，可以去除有機化合物和某些氣體污染物。

三、脫附階段

當活性炭吸附劑飽和時，需要進行脫附過程，將吸附在活性炭上的有機污染物從吸附劑上解吸出來。常用的脫附方法包括加熱活性炭、減壓脫附或使用惰性氣體沖洗等。

四、氧化/燃燒階段

在吸附和脫附之后，有機廢氣中的有機污染物通常需要進一步進行氧化或燃燒以徹底降解。常用的氧化方法包括催化氧化、熱氧化、等離子體氧化等。催化燃燒是一種常見的燃燒方法，通過催化劑的作用，將有機污染物轉化為二氧化碳、水和無害物質。

五、尾氣處理階段

廢氣處理過程的更后階段是對尾氣的處理。尾氣中可能還殘留著少量的有機污染物或其他氣體，需要進一步處理以滿足排放標準。尾氣處理方法包括冷凝、吸附、凈化等，以確保廢氣排放達到環保要求。